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上海微系统与信息技术... [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2009 [2]
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键合方法对聚二甲基硅氧烷液滴型微流控芯片的影响
期刊论文
化学学报, 2009, 期号: 13
李俊君
;
陈强
;
李刚
;
朱自强
;
赵建龙
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提交时间:2012/01/06
微机电系统
MEMS微夹持器
侧面压阻
微操作
一种硅埋置型微波多芯片组件封装的电性能
期刊论文
功能材料与器件学报, 2009, 期号: 02
戚龙松
;
罗乐
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提交时间:2012/01/06
聚二甲基硅氧烷
液滴型微流控芯片
等离子键合
热扩散键合
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