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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 等离子体增强化学气相沉积（PECVD）氮化硅薄膜的防潮性能研究 学位论文 硕士: 中国科学院研究生院（上海冶金研究所）  , 1998 林辉 收藏  |  浏览/下载：58/0  |  提交时间：2012/03/06 等离子休增强化学气相沉积  氮化硅薄膜  塑封  防潮性能