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科研机构
长春光学精密机械与物... [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2016 [1]
2015 [1]
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全频段亚纳米精度氟化钙材料加工
期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 11, 页码: 2636-2643
作者:
刘健
;
张春雷
;
徐乐
;
马占龙
;
王飞
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提交时间:2017/09/17
氟化钙
投影光刻物镜
精密光学加工
亚纳米精度加工
离子束修形(Ibf)
利用面形精修技术去除投影物镜中的三叶像差
期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 08, 页码: 279-284
作者:
赵阳
;
王平
;
史振广
;
谷勇强
;
刘春来
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2016/07/06
几何光学
三叶像差
面形精修
条纹泽尼克多项式
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