全频段亚纳米精度氟化钙材料加工

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	全频段亚纳米精度氟化钙材料加工
	刘健; 张春雷; 徐乐; 马占龙; 王飞; 谷永强; 代雷; 彭石军
刊名	光学精密工程
	2016-11-15
期号	11 页码:2636-2643
关键词	氟化钙投影光刻物镜精密光学加工亚纳米精度加工离子束修形(Ibf)
英文摘要	考虑用CaF_2材料制作投影光刻物镜可以明显提高其性能指标,本文研究了CaF_2材料加工工艺的全流程,以实现CaF_2材料的全频段高精度加工。首先,利用沥青抛光膜和金刚石微粉使CaF_2元件有较好的面形和表面质量。然后,优化转速、抛光盘移动范围、压力等加工工艺参数,并使用硅溶胶溶液抛光进一步降低CaF_2元件的高频误差,逐渐去除加工中产生的划痕并且获得极小中频误差(Zernike残差)和高频粗糙度。最后,在不改变CaF_2元件高频误差的同时利用离子束加工精修元件面形。对100mm口径氟化钙材料平面进行了加工和测试。结果表明:其Zernike 37项拟合面形误差RMS值可达0.39nm,Zernike残差RMS值为0.43nm,高频粗糙度均值为0.31nm,实现了对CaF_2元件的亚纳米精度加工,为研发高性能深紫外投影光刻物镜奠定了良好基础。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57798]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	刘健,张春雷,徐乐,等. 全频段亚纳米精度氟化钙材料加工[J]. 光学精密工程,2016(11):2636-2643.
APA	刘健.,张春雷.,徐乐.,马占龙.,王飞.,...&彭石军.(2016).全频段亚纳米精度氟化钙材料加工.光学精密工程(11),2636-2643.
MLA	刘健,et al."全频段亚纳米精度氟化钙材料加工".光学精密工程 .11(2016):2636-2643.