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| 基于PDMS芯模的微电铸技术及其成形机理研究 学位论文
北京: 中国科学院大学, 2021
作者: 周波
  收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2022/12/15
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| 硅微机械陀螺仪的稳定性研究 学位论文
北京: 中国科学院研究生院, 2018
作者: 刘楠
收藏 | 浏览/下载：34/0 | 提交时间：2018/06/15
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| 新型高频硅基超声雾化器的结构仿真及制作 期刊论文
2017, 卷号: 39, 期号: 2, 页码: 260-264
作者: 张轲[1,2]; 苗斌[2,3]; 丁祥桢[2,5]; 顾智琦[2,6]; 潘天龙[7]
收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2020/01/04
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| 一种硅微机械石墨烯梁谐振式陀螺仪 专利
申请日期: 2017-01-01, 公开日期: 2017-08-29
作者: 樊尚春; 卢阳; 邢维巍
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2019/12/30 |
| 硅微静电悬浮加速度计实验研究 期刊论文
2016, 2016
张汉蒸; 韩丰田; 孙搏谦; 马高印; ZHANG Han-zheng; HAN Feng-tian; SUN Bo-qian; MA Gao-yin
收藏 | 浏览/下载：3/0 |
| 硅微静电加速度计的支承刚度特性 期刊论文
2016, 2016
韩丰田; 吴秋平; 孙搏谦; 张汉蒸; 马高印; HAN Feng-tian; WU Qiu-ping; SUN Bo-qian; ZHANG Han-zheng; MA Gao-yin
收藏 | 浏览/下载：4/0 |
| 一种电容式高量程微机械加速度计的设计分析 期刊论文
2016, 2016
陶永康; 刘云峰; 董景新; TAO Yong-kang; LIU Yun-feng; DONG Jing-xin
收藏 | 浏览/下载：6/0 |
| 毫米级无源微悬臂梁力值传感器件设计与制作 期刊论文
2016, 卷号: 38, 期号: 4, 页码: 562-565
作者: 苗斌[1,3]; 李加东[1,2,3]; 张轲[1,4]; 吴东岷[1,3]
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2020/01/04
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| 谐振式硅微机械陀螺温度补偿结构设计 会议论文
第十四届全国敏感元件与传感器学术会议, 成都, 2016-10-14
作者: 卢超; 郭占社; 宋珂; 郭昭君; 付鹏
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2019/12/30
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| 微惯性测量单元标定技术及误差补偿研究 学位论文
硕士: 中国科学院大学, 2015
作者: 韦宗喜
收藏 | 浏览/下载：16/0 | 提交时间：2016/04/11
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