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| 典型微机械材料的准分子激光加工特性 期刊论文
http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=HKGJ200002010&dbname=CJFQ2000, 2012, 2012
李晓莹; 马炳和; 苑伟政
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| 基于MEMS与AFM的纳米管道系统制作方法研究 学位论文
博士, 中国科学院沈阳自动化研究所: 中国科学院沈阳自动化研究所, 2011
王志迁
收藏 | 浏览/下载：26/0 | 提交时间：2012/07/27
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| 一种微型电磁式振动能量采集器及其制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102176637A, 申请日期: 2011-09-07, 公开日期: 2011-09-07
李伟; 车录锋; 王鹏; 王跃林
收藏 | 浏览/下载：29/0 | 提交时间：2012/01/06 |
| 基于干法刻蚀技术的氮化镓MEMS加工工艺 期刊论文
纳米技术与精密工程, 2011
杨振川; 吕佳楠; 闫桂珍; 陈敬
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2015/11/11
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| 基于表面微机械技术的压阻式加速度传感器 期刊论文
仪表技术与传感器, 2011, 期号: 11
魏长征; 周伟; 李昕欣
收藏 | 浏览/下载：13/0 | 提交时间：2012/04/13
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| 嵌入式单晶硅腔体的六边形硅膜压阻式压力传感器及方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101881676A, 申请日期: 2010-11-10, 公开日期: 2010-11-10
王家畴; 李昕欣
收藏 | 浏览/下载：68/0 | 提交时间：2012/01/06 |
| 用于微流控芯片系统的超疏水表面的制备 期刊论文
2010, 2010
吴建刚; 岳瑞峰; 胡欢; 曾雪锋; 康明; 王喆垚; 刘理天; WU Jian-gang; YUE Rui-feng; HU Huan; ZENG Xue-feng; KANG Ming; WANG Zhe-yao; LIU Li-tian
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| 粗糙表面的可控润湿性研究 期刊论文
2010, 2010
朱亮; 冯焱颖; 叶雄英; 武雁斌; 周兆英; ZHU Liang; FENG Yan-ying; YE Xiong-ying; WU Yan-bin; ZHOU Zhao-ying
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| 一种SOI基三维楔形耦合器集成衬底结构的制备方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101655576, 申请日期: 2010-02-24, 公开日期: 2010-02-24
杨志峰; 方娜; 武爱民; 王曦
收藏 | 浏览/下载：65/0 | 提交时间：2012/01/06 |
| 大行程MEMS微变形镜研究 学位论文
硕士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2009
王大甲
收藏 | 浏览/下载：38/0 | 提交时间：2013/11/19
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