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| 用于硅基铁电电容器集成的一种阻挡层材料及集成方法 专利
申请日期: 2013-01-01, 公开日期: 2013-07-24
作者: 刘保亭[1]; 郭建新[2]; 张磊[3]; 齐晨光[4]; 赵庆勋[5]
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| Ni-Nb为导电阻挡层的硅基铁电电容器集成研究 学位论文
: 河北大学, 2013
作者: 齐晨光[1]
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| Ti-Al为导电阻挡层的硅基铁电电容器集成研究 学位论文
: 河北大学, 2012
作者: 刘卓佳[1]
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| 以Ti-Al薄膜为阻挡层的硅基铁电电容器的集成 学位论文
: 河北大学, 2011
作者: 赵冬月[1]
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| 硅基Cu薄膜与氧化物铁电电容器集成的研究 学位论文
: 河北大学, 2011
作者: 陈剑辉[1]
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| Pb过量对以Ti-Al为阻挡层的硅基铁电电容器极化翻转性能的影响 期刊论文
人工晶体学报, 2011, 卷号: 40, 期号: 6, 页码: 1552-1556
作者: 刘卓佳[1]; 刘保亭[2]; 彭增伟[3]; 代秀红[4]; 闫会芳[5]
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| 含Ni-Al阻挡层硅基BiFe0.95Mn0.05O3铁电电容器的结构及物理性能 期刊论文
人工晶体学报, 2011, 卷号: 40, 期号: 1, 页码: 33-37
作者: 陈剑辉[1]; 刘保亭[2]; 魏大勇[3]; 王宽冒[4]; 崔永亮[5]
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| 退火工艺对含Ti-Al阻挡层的硅基Pb(Zr_(0.4),Ti_(0.6))O_3铁电电容器结构和性能影响的研究 期刊论文
人工晶体学报, 2010, 卷号: 39, 期号: 1, 页码: 62-66,71
作者: 郭颖楠[1]; 刘保亭[2]; 赵敬伟[3]; 王宽冒[4]; 王玉强[5]
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| 用于硅基铁电电容器集成的金属间化合物阻挡层的研究 学位论文
: 河北大学, 2010
作者: 郭颖楠[1]
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| 含Cu硅基铁电电容器集成过程中Ni-Al阻挡层的研究 学位论文
: 河北大学, 2009
作者: 霍骥川[1]
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