题名 | Ti-Al为导电阻挡层的硅基铁电电容器集成研究 |
作者 | 刘卓佳[1] |
答辩日期 | 2012 |
授予单位 | 河北大学 |
关键词 | 硅基铁电电容器 非晶Ti-Al薄膜 导电阻挡层 溶胶-凝胶法 结构参数 能谱分析 |
学位名称 | 硕士 |
URL标识 | 查看原文 |
内容类型 | 学位论文 |
URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5089380 |
专题 | 河北大学 |
作者单位 | 河北大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘卓佳[1]. Ti-Al为导电阻挡层的硅基铁电电容器集成研究[D]. 河北大学. 2012. |
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