×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
CORC
首页
科研机构
检索
知识图谱
申请加入
托管服务
登录
注册
在结果中检索
科研机构
微电子研究所 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2011 [1]
2003 [1]
×
知识图谱
CORC
开始提交
已提交作品
待认领作品
已认领作品
未提交全文
收藏管理
QQ客服
官方微博
反馈留言
浏览/检索结果:
共2条,第1-2条
帮助
已选(
0
)
清除
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
作者升序
作者降序
题名升序
题名降序
发表日期升序
发表日期降序
提交时间升序
提交时间降序
一种新的基于水蒸气和水混合流体去胶方法
期刊论文
Journal of Semiconductors, 2011
作者:
王磊
收藏
  |  
浏览/下载:1/0
  |  
提交时间:2012/11/14
高性能42nm栅长CMOS器件
期刊论文
半导体学报, 2003, 卷号: 24, 期号: B05, 页码: 8,153-160
作者:
陈宝钦
;
蒋浩杰
;
吴德馨
;
赵玉印
;
徐秋霞
收藏
  |  
浏览/下载:10/0
  |  
提交时间:2010/05/25
42nm栅长
Cmos器件
超陡倒掺杂
灰化工艺
高选择比
高各向异性
Co/ti自对准硅化物
©版权所有 ©2017 CSpace - Powered by
CSpace