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基于非对称金属包覆介质波导的多层亚波长结构刻写装置 专利
申请日期: 2018-12-21, 公开日期: 2018-12-21
作者:  王向贤;  王茹;  陈宜臻;  张东阳;  庞志远
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高精度AZ厚胶光刻及其在射频同轴传输线制作中应用 学位论文
: 大连理工大学, 2018
作者:  李爰琪
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高精度AZ厚胶光刻及在微型射频同轴器制作中的应用 期刊论文
航空制造技术, 2018, 卷号: 61, 页码: 26-31
作者:  杜立群;  李爰琪;  齐磊杰;  李晓军;  朱和卿
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基于非对称金属包覆介质波导的多层亚波长结构刻写装置 专利
申请日期: 2017-06-27, 公开日期: 2017-06-27
作者:  王向贤;  王茹;  陈宜臻;  张东阳;  庞志远
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基于非对称金属包覆介质波导的多层亚波长结构刻写装置 专利
申请日期: 2017-03-08, 公开日期: 2017-03-08
作者:  王向贤;  王茹;  陈宜臻;  张东阳;  庞志远
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硅晶圆上窄节距互连铜凸点 期刊论文
2016, 2016
刘子玉; 蔡坚; 王谦; 程熙云; 石璐璐; LIU Ziyu; CAI Jian; WANG Qian; CHENG Xiyun; SHI Lulu
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基于激光相变热刻蚀效应的微纳结构制备 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:  周奇军
收藏  |  浏览/下载:22/0  |  提交时间:2016/11/28
基于激光相变热刻蚀效应的微纳结构制备 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:  周奇军
收藏  |  浏览/下载:20/0  |  提交时间:2016/11/28
射频MEMS开关中金属剥离工艺研究 期刊论文
2012
陈光红; 吴清鑫; 于映; 罗仲梓
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一种亚微米尺寸二维介质柱型光子晶体的制备方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102260870A, 申请日期: 2011-11-30, 公开日期: 2011-11-30
曹远迎; 李耀耀; 张永刚; 顾溢; 王凯
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