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	射频MEMS开关中金属剥离工艺研究; Investigation for Metal Lift-off Process in RF MEMS Switch
	Chen GH(陈光红) ; Wu QX(吴清鑫) ; Yu Y(于映) ; Luo ZZ(罗仲梓)
	2012
关键词	BP212 AZP4620 AZ5214E 氯苯浸泡 剥离 BP212 AZP4620 AZ5214E chlorobenzene treatment lift-off
英文摘要	研究用bP212正性光刻胶(浸泡氯苯)、AzP4620正性光刻胶(浸泡氯苯)、Az5214E反转光刻胶光刻后的图形剥离金属的难易度及图形质量.用扫描电镜(SEM)观察不同光刻胶及浸泡氯苯后的侧壁图形,并分析不同侧壁图形的形成机理,找出最佳工艺参数,并应用于射频MEMS开关制作中的金属剥离.; The lift-off processes of BP212 positive photoresist(and chlorobenzene treatment) and AZP4620 positive photoresist(and chlorobenzene treatment) were studied.AZ5214E image-reversal photoresist was also studied.Side wall graphics were observed using scanning electron microscope(SEM).The forming mechanism of different lateral wall pattern was analysed.The optimum process parameters were found and used in metal lift-off in RF MEMS switches.; 国家青年基金资助项目(60301006);福建省自然科学基金资助项目(A0310012)
语种	zh_CN
内容类型	期刊论文
源URL	[http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/105552]
专题	航空航天－已发表论文
推荐引用方式 GB/T 7714	陈光红,吴清鑫,于映,等. 射频MEMS开关中金属剥离工艺研究, Investigation for Metal Lift-off Process in RF MEMS Switch[J],2012.
APA	陈光红,吴清鑫,于映,&罗仲梓.(2012).射频MEMS开关中金属剥离工艺研究..
MLA	陈光红,et al."射频MEMS开关中金属剥离工艺研究".(2012).

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