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| 基于Petri网的组合设备建模与调度综述 期刊论文 自动化学报, 2023, 卷号: 49, 期号: 5, 页码: 929-948 作者: 袁凤连; 黄波; 王际鹏; 潘春荣
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| 半导体器件制造方法 专利 专利号: CN201410748850.X, 申请日期: 2018-07-27, 公开日期: 2016-07-06 作者: 钟汇才 ; 赵超 ; 朱慧珑![](/image/person.jpg)
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| 上游材料供应受限 半导体与OLED面板本土化制造优势或将丧失 科技动态 2018 作者: yaoxn@llas.ac.cn
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:24/0  |  提交时间:2018/07/05 |
| 半导体器件制造方法 专利 专利号: CN201510011821.X, 申请日期: 2017-09-05, 公开日期: 2016-08-03 作者: 李俊峰 ; 王垚 ; 杨涛 ; 丁明正 ; 贺晓彬![](/image/person.jpg)
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| 半导体晶圆制造自动物料运输系统实时调度方法研究 学位论文 : 上海大学, 2017 作者: 陈建平[1]
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| 一种基于点压技术的新型晶圆键合方法 期刊论文 焊接学报, 2016 作者: 徐杨; 王盛凯; 许维
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2017/05/08 |
| 华虹宏力获“2016 CITE创新产品和应用奖” 无文献类型 -
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2019/12/24
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| 晶圆表面微米级缺陷检测 期刊论文 计算机工程与设计, 2015, 卷号: 36, 期号: 6, 页码: 1671-1675 作者: 戴敬; 肖朋 ; 杨志家 ; 马继开![](/image/person.jpg)
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| 智能制造推动半导体产业变革 期刊论文 工具技术, 2015, 卷号: 第49卷, 页码: 94 -
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/12/30
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| 半导体制造过程R2R控制方法研究进展 期刊论文 现代制造工程, 2013, 期号: 3, 页码: 4-10,99 作者: 胡静涛![](/image/person.jpg)
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:50/0  |  提交时间:2013/10/05
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