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科研机构
北京航空航天大学 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2019 [2]
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Micro Stage Measurement Based on White Light Interference [白光干涉法微观台阶测量]
期刊论文
Bandaoti Guangdian/Semiconductor Optoelectronics, 2019, 卷号: 40, 页码: 252-255
作者:
Li, H.
;
Zhao, Q.
;
Wei, X.
;
Hu, M.
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/12/30
白光干涉法微观台阶测量
期刊论文
半导体光电, 2019, 卷号: 40, 页码: 252-255
作者:
李慧鹏
;
赵庆松
;
李豪伟
;
魏晓马
;
胡明哲
收藏
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浏览/下载:5/0
  |  
提交时间:2019/12/30
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