| 白光干涉法微观台阶测量 | |
| 李慧鹏; 赵庆松; 李豪伟; 魏晓马; 胡明哲 | |
| 刊名 | 半导体光电
 |
| 2019 | |
| 卷号 | 40页码:252-255 |
| 关键词 | 微观台阶 轮廓检测 白光干涉 台阶边缘识别 |
| ISSN号 | 1001-5868 |
| DOI | 10.16818/j.issn1001-5868.2019.02.022 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5919727 |
| 专题 | 北京航空航天大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李慧鹏,赵庆松,李豪伟,等. 白光干涉法微观台阶测量[J]. 半导体光电,2019,40:252-255. |
| APA | 李慧鹏,赵庆松,李豪伟,魏晓马,&胡明哲.(2019).白光干涉法微观台阶测量.半导体光电,40,252-255. |
| MLA | 李慧鹏,et al."白光干涉法微观台阶测量".半导体光电 40(2019):252-255. |
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