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| 基于低温共烧陶瓷的微机械差分电容式加速度计的研究 期刊论文
传感技术学报, 2016
张义川; 缪旻; 方孺牛; 唐小平; 卢会湘; 严英占; 金玉丰
  收藏 | 浏览/下载：5/0 | 提交时间：2017/12/03
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| 真空封装MEMS陀螺高温老化失效机理研究 期刊论文
传感技术学报, 2016
谷专元; 何春华; 陈俊光; 赵前程; 张大成; 闫桂珍
收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2017/12/03
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| 真空封装MEMS陀螺高温老化失效机理研究 期刊论文
《传感技术学报》, 2016, 卷号: 29, 页码: 1637-1642
作者: 谷专元[1,2]; 何春华[2,3]; 陈俊光[2]; 赵前程[3]; 张大成[3]
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2019/04/24
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| 用于微机械器件和微电子机械系统的关键技术 期刊论文
2016, 卷号: 0, 期号: 3, 页码: 198-198
作者: 周波
收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2019/12/09
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| 利用集成微加热器实现芯片上高Q值微腔的共振波长调谐 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者: 唐家雷
收藏 | 浏览/下载：106/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 内应力影响下表面微机械绝对压力传感器非线性研究 学位论文
: 江苏大学, 2014
作者: 张艳敏[1]
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/12/24
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| 60 GHz贴片天线用低温共烧陶瓷基板的微机械加工 期刊论文
光学精密工程, 2013
缪旻; 张小青; 姚雅婷; 沐方清; 胡独巍
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2015/11/12
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| 提高机械工程训练中心数控实训教学质量的探讨 期刊论文
甘肃科技, 2012, 期号: 2012年14期, 页码: 74-75+64
作者: 王正军
收藏 | 浏览/下载：15/0 | 提交时间：2019/11/13
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| 微机械与微/纳米科技的研究及其发展趋势 期刊论文
http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=HJZJ199706000&dbname=CJFQ1997, 2012, 2012
马炳和; 苑伟政; 李晓莹; 张春江
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2017/06/19
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| 微机械陀螺的发展现状 期刊论文
http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=LXJZ200303000&dbname=CJFQ2003, 2012, 2012
李新刚; 袁建平
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2017/06/19
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