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上海光学精密机械研究... [3]
光电技术研究所 [1]
新疆天文台 [1]
上海技术物理研究所 [1]
内容类型
学位论文 [3]
期刊论文 [3]
发表日期
2017 [1]
2013 [1]
2009 [2]
2006 [2]
学科主题
光学薄膜 [2]
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大口径主镜膜厚均匀性研究与修正挡板设计
学位论文
北京: 中国科学院大学, 2017
作者:
程敏
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2017/10/23
大口径望远镜
非球面
光学薄膜
膜厚均匀性
修正挡板
平面行星系统修正挡板校正膜厚均匀性
期刊论文
光学学报, 2013, 卷号: 33, 期号: 2, 页码: 0231002-1-5
作者:
郭春
;
孔明东
;
柳存定
;
李斌成
收藏
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2016/11/21
薄膜
光学镀膜
厚度均匀性
修正挡板
行星系统
光学薄膜应力演化与面形控制
学位论文
: 中国科学院研究生院, 2009
-
收藏
  |  
浏览/下载:13/0
  |  
提交时间:2016/11/06
光学薄膜
面形
应力实时测量
应力演化
薄膜厚度分布
牺牲层
光学薄膜应力演化与面形控制
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009
作者:
方明
收藏
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浏览/下载:91/0
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提交时间:2016/11/28
光学薄膜
面形
应力实时测量
应力演化
薄膜厚度分布
牺牲层
平面行星夹具的物理气相沉积均匀性计算
期刊论文
计算物理, 2006, 卷号: 23, 期号: 6, 页码: 738, 742
方明
;
范正修
;
黄建兵
收藏
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浏览/下载:628/95
  |  
提交时间:2009/09/22
薄膜淀积
均匀性
平面行星夹具
计算机模拟
平面行星夹具均匀性修正挡板设计方法研究
期刊论文
真空科学与技术学报, 2006, 卷号: 26, 期号: 4, 页码: 286, 289
方明
;
郑伟军
;
吴明
;
范瑞瑛
;
易葵
;
范正修
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浏览/下载:766/108
  |  
提交时间:2009/09/22
光学薄膜
平面行星夹具
修正挡板设计
停留概率修正法
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