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| 基于高次谐波的高功率高稳定13.5 nm极紫外光源 期刊论文
中国激光/Chinese Journal of Lasers, 2024, 卷号: 51, 期号: 07, 页码: 172-179
作者: 李逵; 孟润宇; 李睿晅; 张光银; 姚铭杰
  收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2024/05/06
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| 微腔阵列表面的液滴浸润及蒸发特性研究 学位论文
北京: 中国科学院大学, 2022
作者: 徐文帅
收藏 | 浏览/下载：25/0 | 提交时间：2022/07/05
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| 基于样品连续旋转的高阶导模干涉刻写多层亚波长圆光栅理论研究 期刊论文
激光与光电子学进展, 2021, 页码: 1-12
作者: 苏盈文; 陈振宇; 徐月奇; 王向贤
收藏 | 浏览/下载：12/0 | 提交时间：2021/12/16
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| 超高精度面形干涉检测技术进展 期刊论文
光电工程, 2020, 卷号: 47, 期号: 8, 页码: 18-30
作者: 侯溪; 张帅; 胡小川; 全海洋; 吴高峰
收藏 | 浏览/下载：18/0 | 提交时间：2021/05/11
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| X射线闪烁体成像探测器光学编码成像研究 学位论文
: 中国科学院大学(中国科学院上海应用物理研究所), 2020
作者: 夏慧娟
收藏 | 浏览/下载：62/0 | 提交时间：2020/12/07
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| 多波长半导体分布式反馈激光器阵列及其制作方法 专利
专利号: CN108110613B, 申请日期: 2019-07-19, 公开日期: 2019-07-19
作者: 周旭亮; 李召松; 王梦琦; 王嘉琪; 于红艳
收藏 | 浏览/下载：32/0 | 提交时间：2019/12/24 |
| 压电促动器的纳米级精度控制及其在光刻物镜中的应用研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 李朋志
收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2020/08/24
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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 张璐
收藏 | 浏览/下载：10/0 | 提交时间：2020/08/24
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| 基于光场成像原理的微纳结构检测方法研究 学位论文
中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学光电技术研究所, 2019
作者: 杨帆
收藏 | 浏览/下载：371/0 | 提交时间：2019/06/05
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| 一种基于样品旋转和激光双光束干涉的微纳结构刻写装置 专利
申请日期: 2019-02-22, 公开日期: 2019-02-22
作者: 王向贤; 陈宜臻; 王茹; 朱小帅; 张东阳
收藏 | 浏览/下载：25/0 | 提交时间：2020/11/11 |
