基于高次谐波的高功率高稳定13.5 nm极紫外光源

doi:10.3788/CJL231507

CORC > 云南天文台 > 中国科学院云南天文台 > 丽江天文观测站（南方基地）

	基于高次谐波的高功率高稳定13.5 nm极紫外光源
	李逵 4,5; 孟润宇 2,3; 李睿晅 4,5; 张光银 4,5; 姚铭杰 1; 徐豪 5; 王雨童 5; 李捷 4,5; 张晓世 3,5; 樊仲维 4
刊名	中国激光/Chinese Journal of Lasers
	2024-04
卷号	51 期号:07 页码:172-179
关键词	激光器高次谐波极紫外激光 13.5 nm光源软X射线飞秒激光
ISSN号	0258-7025
DOI	10.3788/CJL231507
其他题名	High Power and High Stability 13. 5 nm Extreme Ultraviolet Light Source Driven by High⁃Order Harmonics
产权排序	第4完成单位
英文摘要	开发了由高重复频率（3 kHz）高能量（3 mJ）钛蓝宝石激光器驱动的极紫外和软X射线高次谐波激光光源。该光源系统在30 nm（光子能量为～45 eV）波长附近实现了大于120μW的平均功率，在13.46 nm波长（光子能量为～92 eV）处实现了1.9μW的平均功率，其中在13.46 nm波长处带宽为0.124 nm的单个谐波实现了0.32μW的平均功率。此外，在该系统中，激光功率连续12 h的不稳定性均方根小于5%，连续8 h光束指向均方根小于10μrad。该系统在生物成像、干涉光刻和芯片检测等领域中具有重要应用。
学科主题	物理学 ; 光学 ; 激光物理
分类号	O434
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资助项目	国家重点研发计划[2021YFB3602600]; 国家自然科学基金青年科学基金[62005291]; 中国科学院项目[GJJSTD20200009]; 北京市科学技术委员会项目[Z221100006722008]
语种	中文
资助机构	国家重点研发计划[2021YFB3602600] ; 国家自然科学基金青年科学基金[62005291] ; 中国科学院项目[GJJSTD20200009] ; 北京市科学技术委员会项目[Z221100006722008]
内容类型	期刊论文
版本	出版稿
源URL	[http://ir.ynao.ac.cn/handle/114a53/27129]
专题	云南天文台_丽江天文观测站（南方基地）
作者单位	1.北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院 2.中国科学院云南天文台; 3.云南大学物理与天文学院; 4.中国科学院大学光电学院; 5.中国科学院空天信息创新研究院;
推荐引用方式 GB/T 7714	李逵,孟润宇,李睿晅,等. 基于高次谐波的高功率高稳定13.5 nm极紫外光源[J]. 中国激光/Chinese Journal of Lasers,2024,51(07):172-179.
APA	李逵.,孟润宇.,李睿晅.,张光银.,姚铭杰.,...&樊仲维.(2024).基于高次谐波的高功率高稳定13.5 nm极紫外光源.中国激光/Chinese Journal of Lasers,51(07),172-179.
MLA	李逵,et al."基于高次谐波的高功率高稳定13.5 nm极紫外光源".中国激光/Chinese Journal of Lasers 51.07(2024):172-179.