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| 面向过盈配合微器件的机器人装配技能学习及其应用 学位论文 中科院自动化所: 中国科学院大学, 2020 作者: 马燕芹
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| 深孔类零部件内部缺陷的视觉检测方法研究 学位论文 中国科学院自动化研究所: 中国科学院大学,中国科学院自动化研究所, 2019 作者: 宫新一![](/image/person.jpg)
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:158/0  |  提交时间:2019/06/21
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| SiO_2表面上醇类分子的浸润行为的分子动力学模拟研究 学位论文 : 中国科学院大学(中国科学院上海应用物理研究所), 2018 作者: 聂雪川
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:18/0  |  提交时间:2018/08/23
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| MEMS固体波动陀螺谐振子现状及发展 期刊论文 微纳电子技术, 2018, 卷号: 55, 期号: 10, 页码: 738-745 作者: 庄须叶; 江南; 易剑; 张军安; 郭述文
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| MEMS硅玻璃阳极键合工艺评价方法 期刊论文 传感器与微系统, 2017 谷专元; 何春华; 何燕华; 赵前程; 张大成
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:5/0  |  提交时间:2017/12/03
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| MEMS惯性器件的主要失效模式和失效机理研究 期刊论文 《传感器与微系统》, 2017, 卷号: 36, 页码: 1-5 作者: 陈俊光[1,2] 谷专元[1,3] 何春华[1] 黄钦文[1] 来萍[1] 恩云飞[1]
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:3/0  |  提交时间:2019/04/24
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| MEMS硅玻璃阳极键合工艺评价方法 期刊论文 《传感器与微系统》, 2017, 卷号: 36, 页码: 54-56 作者: 谷专元[1,2] 何春华[2,3]; 何燕华[1] 赵前程[3]; 张大成[3]
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:4/0  |  提交时间:2019/04/24
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| 真空封装MEMS陀螺高温老化失效机理研究 期刊论文 传感技术学报, 2016 谷专元; 何春华; 陈俊光; 赵前程; 张大成; 闫桂珍
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:4/0  |  提交时间:2017/12/03
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| 真空封装MEMS陀螺高温老化失效机理研究 期刊论文 《传感技术学报》, 2016, 卷号: 29, 页码: 1637-1642 作者: 谷专元[1,2]; 何春华[2,3]; 陈俊光[2]; 赵前程[3]; 张大成[3]
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| 单片机应用系统软件可靠性设计 期刊论文 2015, 2015 郑蕾; 郭伟; 郝继飞
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2017/06/15
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