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| 大口径衍射光学元件反应离子刻蚀均匀性及调控方法的研究 学位论文
成都: 电子科技大学, 2021
作者: 张景文
  收藏 | 浏览/下载：23/0 | 提交时间：2021/06/29 |
| 射频容性耦合等离子体中放电模式的实验研究 学位论文
: 大连理工大学, 2018
作者: 刘刚虎
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2019/12/02
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| 低气压射频容性氩气放电中电子加热机理的流体模拟 学位论文
: 大连理工大学, 2018
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收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2019/12/02
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| 脉冲调制射频容性耦合等离子体中高能电子动力学研究 学位论文
: 大连理工大学, 2018
作者: 白立水
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2019/12/02
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| 射频容性耦合硅烷混合气体放电中等离子体化学的数值模拟 学位论文
: 大连理工大学, 2018
作者: 贾文柱
收藏 | 浏览/下载：5/0 | 提交时间：2019/12/02
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| 低气压射频容性耦合等离子体物理 项目
2017-
作者: 刘永新
收藏 | 浏览/下载：5/0 | 提交时间：2019/12/02 |
| 射频容性耦合SiH4/Ar放电中反转电场及电子能量分布的模拟 会议论文
第十八届全国等离子体科学技术会议, 中国陕西西安, 2017-07-01
作者: 王喜凤; 宋远红; 戴忠玲; 王友年
收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2019/12/02
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| 占空比对脉冲调制射频容性耦合氩气放电的影响 会议论文
第十八届全国等离子体科学技术会议, 中国陕西西安, 2017-07-01
作者: 常莉杰; 杨莎莉; 姜巍; 卢新培; 宋远红
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2019/12/02
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| 射频容性耦合放电流体力学仿真模型的多样性分析 会议论文
第十八届全国等离子体科学技术会议, 中国陕西西安, 2017-07-01
作者: 崔文俐; 赵书霞
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/12/02
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| 丙烯酸和八氟环丁烷等离子体共聚物薄膜制备及润湿性调控研究 会议论文
中国化学会2017全国高分子学术论文报告会, 中国四川成都, 2017-10-01
作者: 李昱鹏; 雷明凯
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2019/12/03
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