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应用于工具镀膜的磁场辅助离子镀弧源及其放电特性分析 期刊论文
真空, 2015, 期号: 1, 页码: 39-44
郎文昌; 徐焱良; 杜昊; 肖金泉; 高斌; 吴百中
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一种结构紧凑的多功能磁控离子镀弧源装置 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2009-02-04, 公开日期: 2009-02-04
肖金泉, 郎文昌, 孙超, 宫骏, 赵彦辉, 杨英 and 闻立时
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