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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于MEMS技术的一种新型可变形反射镜 期刊论文 半导体学报, 2004 余洪斌; 陈海清; 竺子民; 张大成; 李婷 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/12 可变形反射镜 体微加工 静电驱动 响应频率