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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 压电微悬臂梁探针的制作工艺研究 期刊论文 西安交通大学学报, 2011, 卷号: 45, 页码: 79-82 作者:  崔岩;  张吕权;  夏劲松;  王立鼎 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/18 压电探针  局部压电层  纳米硅尖  弹性常数   压电微探针中PZT薄膜与硅尖制备工艺的研究 学位论文 : 大连理工大学, 2010 作者:  张吕权 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/18 探针  PZT薄膜  应力  微悬臂梁  压电   压电微悬臂梁探针的制备工艺研究 学位论文 : 大连理工大学, 2009 作者:  夏劲松 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/24 纳米硅尖  压电微悬臂梁探针  局部压电层  弹性常数  微纳米加工  干法刻蚀   一种压电微悬臂梁探针的制作方法 专利 申请日期: 2009-01-01, 公开日期: 2009-11-18 作者:  崔岩;  夏劲松;  赵佳欣;  张吕权;  王立鼎 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/24