| 压电微悬臂梁探针的制作工艺研究 | |
| 崔岩; 张吕权; 夏劲松; 王立鼎 | |
| 刊名 | 西安交通大学学报
 |
| 2011 | |
| 卷号 | 45页码:79-82 |
| 关键词 | 压电探针 局部压电层 纳米硅尖 弹性常数 |
| ISSN号 | 0253-987X |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4836081 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 1.大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室,116024,大连 2.大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,116024,大连 3.大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室,116024,大连 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 崔岩,张吕权,夏劲松,等. 压电微悬臂梁探针的制作工艺研究[J]. 西安交通大学学报,2011,45:79-82. |
| APA | 崔岩,张吕权,夏劲松,&王立鼎.(2011).压电微悬臂梁探针的制作工艺研究.西安交通大学学报,45,79-82. |
| MLA | 崔岩,et al."压电微悬臂梁探针的制作工艺研究".西安交通大学学报 45(2011):79-82. |
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