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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 用于MEMS器件低压封装的单金属丝压力测试技术 期刊论文 电子器件, 2013 张敏; 淦华; 官勇; 缪旻; 金玉丰 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/12 MEMS  MEMS  mono-metal-wire pressure test  package  Pirani gauge  four-probe method  sensitivity  单金属丝压力测试  封装  微型皮拉尼计  四探针法  灵敏度