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| 硬质合金刀具材料化学机械抛光机理研究 期刊论文
表面技术, 2019, 卷号: 第2期
作者: 袁巨龙; 毛美姣; 李敏; 刘舜; 胡自化
  收藏 | 浏览/下载：7/0 | 提交时间：2019/12/13 |
| 一种化学机械抛光后芯片表面形貌评测方法及系统 专利
专利号: CN201410643976.0, 申请日期: 2018-04-06, 公开日期: 2016-06-01
作者: 曹鹤 ; 陈岚; 马天宇
收藏 | 浏览/下载：7/0 | 提交时间：2019/03/06 |
| YAG晶体的固结磨料研磨与化学机械抛光工艺研究 学位论文
: 大连理工大学, 2018
作者: 安润莉
收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2019/12/02
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| 铜的化学机械抛光液研究 学位论文
: 大连理工大学, 2018
作者: 于志坚
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2019/12/02
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| 在线电解修整磨削与化学机械抛光相结合的蓝宝石基片组合加工技术 期刊论文
中国机械工程, 2018, 卷号: 第29卷 第11期, 页码: 1310-1315
作者: 徐志强; 尹韶辉; 姜胜强; 朱科军
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2019/12/26
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| 酸性条件下的CdSe波片抛光工艺研究 期刊论文
人工晶体学报, 2018, 卷号: 047, 期号: 006, 页码: 1280
作者: 魏顺勇; 张志勇; 杨辉; 安辛友; 张敏
收藏 | 浏览/下载：0/0 | 提交时间：2020/03/11 |
| 钆镓石榴石的研磨与抛光工艺研究 学位论文
: 大连理工大学, 2017
作者: 张浩然
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/12/03
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| 成像级CdSe中红外波片的表面处理工艺研究 期刊论文
影像科学与光化学, 2017, 卷号: 035, 期号: 002, 页码: 168
作者: 杨辉; 张志勇; 冯志伟; 熊祝韵; 曾体贤
收藏 | 浏览/下载：0/0 | 提交时间：2020/03/11 |
| 布线图案导致的集成电路平坦化损伤研究 期刊论文
2016, 2016
郭玉龙; 郭丹; 潘国顺; 雒建斌; GUO Yulong; GUO Dan; PAN Guoshun; LUO Jianbin
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| 300mm晶圆化学机械抛光机关键技术研究与实现 期刊论文
2016, 2016
王同庆; 路新春; 赵德文; 门延武; 何永勇; WANG Tongqing; LU Xinchun; ZHAO Dewen; MEN Yanwu; HE Yongyong
收藏 | 浏览/下载：7/0 |
