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| 等离子体刻蚀中反应物输运对剖面演化影响的多尺度研究 学位论文
: 大连理工大学, 2018
作者: 张赛谦
  收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2019/12/02
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| C4F8/Ar等离子体蚀刻蚀SiO2的多尺度研究 学位论文
: 大连理工大学, 2015
作者: 眭佳星
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2019/12/09
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| C_4F_8/Ar等离子体刻蚀SiO_2的多尺度研究 学位论文
: 大连理工大学, 2015
作者: 眭佳星
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/12/09
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| 中国东部花岗岩地区剥蚀速率：宇宙成因核素10Be、26Al的研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2014
崔丽峰
收藏 | 浏览/下载：377/0 | 提交时间：2016/12/28
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| 基于水平集方法的等离子体刻蚀过程数值模拟 学位论文
: 大连理工大学, 2013
作者: 严培
收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2019/12/13
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| 射频等离子体刻蚀二氧化硅物理机理数值研究 学位论文
: 大连理工大学, 2012
作者: 赵占强
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/12/13
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| 一种用于等离子体刻蚀剖面演化的三维计算方法 专利
申请日期: 2012-01-01, 公开日期: 2012-12-26
作者: 阎军; 严培; 杨明强; 张维生
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/12/13 |
| 基于水平集方法的刻蚀剖面演化的研究 会议论文
第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会, 中国辽宁大连, 2009-07-20
作者: 张弘; 戴忠玲; 王友年
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/12/24
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| 基于水平集方法的三维等离子体刻蚀剖面演化规律研究 项目
2008-
作者: 戴忠玲
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/12/27 |
| 一种用于等离子体刻蚀剖面演化的三维计算方法 专利
公开日期: 2015-04-08
作者: 阎军
收藏 | 浏览/下载：0/0 | 提交时间：2020/01/06 |
