| 基于水平集方法的刻蚀剖面演化的研究 | |
| 张弘; 戴忠玲; 王友年 | |
| 2009 | |
| 会议名称 | 第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会 |
| 会议日期 | 2009-07-20 |
| 会议地点 | 中国辽宁大连 |
| 关键词 | 等离子体刻蚀 水平集方法 加工技术 零组件 水平集函数 演化曲线 化学反应过程 放电参数 流体力学模型 不均匀性 |
| 页码 | 1 |
| 会议录 | 第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会
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| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5286857 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学 物理与光电工程学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张弘,戴忠玲,王友年. 基于水平集方法的刻蚀剖面演化的研究[C]. 见:第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会. 中国辽宁大连. 2009-07-20. |
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