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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计及光栅衍射波前校正技术研究 学位论文 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018 作者:  糜小涛 收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2019/09/23 衍射光栅  光栅刻划机  微定位系统  控制器设计  刻线误差  测量系统  余弦误差  阿贝误差  大气折射率  衍射波前  基底面形误差  镀膜均匀性   大尺寸光栅刻槽误差校正及在线监测技术研究 学位论文 博士: 中国科学院大学, 2015 作者:  杨超 收藏  |  浏览/下载：63/0  |  提交时间：2015/11/30 刻划光栅  光栅刻槽误差  快速傅里叶变换  光栅基底面形误差  实时监测