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深圳先进技术研究院 [1]
河北大学 [1]
内容类型
期刊论文 [2]
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2017 [1]
2013 [1]
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偏轴射频磁控溅射生长 LiPON 在高性能全固态 薄膜锂离子电池中的应用
期刊论文
集成技术, 2017
作者:
肖东丽
;
童君
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提交时间:2018/02/02
保持温度对偏轴磁控溅射法制备BiFeO_3薄膜结构和性能的影响
期刊论文
人工晶体学报, 2013, 卷号: 42, 期号: 2, 页码: 246-250
作者:
郝彦磊[1]
;
刘保亭[2]
;
彭增伟[3]
;
贾冬梅[4]
;
朱慧娟[5]
收藏
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提交时间:2019/12/21
偏轴磁控溅射
保持温度
XRD
BiFeO3
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