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微同轴T形功分器的制作工艺研究 学位论文
: 大连理工大学, 2018
作者:  齐磊杰
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一种精确控制碳化硅高温离子注入掩模陡直性的方法 专利
专利号: CN201310570937.8, 申请日期: 2016-04-20, 公开日期: 2014-02-05
作者:  白云;  刘新宇;  汤益丹;  许恒宇;  蒋浩杰
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HSQ用于电子束曝光的性能分析 期刊论文
微细加工技术, 2008, 期号: 4, 页码: 4,10-13
作者:  赵珉;  陈宝钦;  刘明;  谢常青;  朱效立
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