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微电子研究所 [2]
大连理工大学 [1]
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2018 [1]
2016 [1]
2008 [1]
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微同轴T形功分器的制作工艺研究
学位论文
: 大连理工大学, 2018
作者:
齐磊杰
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/12/02
微同轴T形功分器
AZ50XT光刻胶
侧壁陡直性
结合强度
一种精确控制碳化硅高温离子注入掩模陡直性的方法
专利
专利号: CN201310570937.8, 申请日期: 2016-04-20, 公开日期: 2014-02-05
作者:
白云
;
刘新宇
;
汤益丹
;
许恒宇
;
蒋浩杰
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2017/05/27
HSQ用于电子束曝光的性能分析
期刊论文
微细加工技术, 2008, 期号: 4, 页码: 4,10-13
作者:
赵珉
;
陈宝钦
;
刘明
;
谢常青
;
朱效立
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2010/05/27
Hsq(hydrogen Silsesquioxane)
电子束曝光技术
抗蚀剂工艺
邻近效应
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