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感压膜片预张力对电容薄膜真空计输出特性的影响 期刊论文
真空与低温, 2020
作者:  贾春旺;  陈叔平;  成永军;  孙雯君;  裴晓强
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确定单晶硅湿法刻蚀制作中阶梯光栅中刻蚀截止点的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201310251594.9, 申请日期: 2014-11-19, 公开日期: 2014-11-19
焦庆斌 谭鑫 巴音贺希格 齐向东
收藏  |  浏览/下载:38/0  |  提交时间:2015/02/10
大功率非接触式激光快速加热装置 专利
专利号: CN103234804B, 申请日期: 2014-06-18, 公开日期: 2014-06-18
作者:  孟松鹤;  解维华;  金华;  徐凯;  许承海
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一种自动开关实验仪器真空系统的装置 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: CN201320210288.6, 申请日期: 2013-10-23, 公开日期: 2013-10-23
唐紫超;  任文峰;  张世宇
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移动式弧光放电离子镀膜设备及其应用 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-01-11, 公开日期: 2012-01-11
于志明, 牛云松, 何宇廷 and 崔荣洪
收藏  |  浏览/下载:101/0  |  提交时间:2013/06/06
移动式弧光放电离子镀膜设备 专利
专利类型: 实用新型, 申请日期: 2011-03-16, 公开日期: 2011-03-16
于志明, 牛云松, 何宇廷 and 崔荣洪
收藏  |  浏览/下载:110/0  |  提交时间:2013/06/06
基于四极杆质谱的稀有气体测定系统 专利
专利号: ZL201010272543.0, 申请日期: 2010-09-01, 公开日期: 2011-02-02
作者:  龚革联;  周继彬;  孙卫东;  张晓东;  张红
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基于MEMS技术的电容式微型真空传感器 学位论文
2005, 2005
张丹
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固支硅梁动态特性理论、测试及应用研究 学位论文
硕士, 中国科学院电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 1999
张洮
收藏  |  浏览/下载:6/0  |  提交时间:2011/07/19
固支硅梁动态特性理论、测试及应用研究 学位论文
硕士, 中国科学院电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 1999
张洮
收藏  |  浏览/下载:33/0  |  提交时间:2011/07/19


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