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| 感压膜片预张力对电容薄膜真空计输出特性的影响 期刊论文 真空与低温, 2020 作者: 贾春旺; 陈叔平; 成永军; 孙雯君; 裴晓强
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| 确定单晶硅湿法刻蚀制作中阶梯光栅中刻蚀截止点的方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: 201310251594.9, 申请日期: 2014-11-19, 公开日期: 2014-11-19 焦庆斌 谭鑫 巴音贺希格 齐向东
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| 大功率非接触式激光快速加热装置 专利 专利号: CN103234804B, 申请日期: 2014-06-18, 公开日期: 2014-06-18 作者: 孟松鹤; 解维华; 金华; 徐凯; 许承海
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| 一种自动开关实验仪器真空系统的装置 专利 专利类型: 实用新型, 专利号: CN201320210288.6, 申请日期: 2013-10-23, 公开日期: 2013-10-23 唐紫超; 任文峰; 张世宇
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| 移动式弧光放电离子镀膜设备及其应用 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2012-01-11, 公开日期: 2012-01-11 于志明, 牛云松, 何宇廷 and 崔荣洪
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| 移动式弧光放电离子镀膜设备 专利 专利类型: 实用新型, 申请日期: 2011-03-16, 公开日期: 2011-03-16 于志明, 牛云松, 何宇廷 and 崔荣洪
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| 基于四极杆质谱的稀有气体测定系统 专利 专利号: ZL201010272543.0, 申请日期: 2010-09-01, 公开日期: 2011-02-02 作者: 龚革联; 周继彬; 孙卫东; 张晓东; 张红
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| 基于MEMS技术的电容式微型真空传感器 学位论文 2005, 2005 张丹
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| 固支硅梁动态特性理论、测试及应用研究 学位论文 硕士, 中国科学院电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 1999 张洮
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| 固支硅梁动态特性理论、测试及应用研究 学位论文 硕士, 中国科学院电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 1999 张洮
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