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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于MEMS微镜的可调光学衰减器 期刊论文 光电子.激光, 2012, 期号: 12, 页码: 2287-2291 刘英明; 徐静; 钟少龙; 翟雷应; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载：49/0  |  提交时间：2013/02/22 可调光衰减器(VOA)  微光机电系统(MEMS)  微镜  垂直梳齿驱动器   多台阶平板静电驱动的高占空比微镜阵列的研制 期刊论文 光学精密工程, 2011, 期号: 08 李四华; 徐静; 龙亮; 钟少龙; 吴亚明 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2012/04/13 微光机电系统  多台阶平板  平行平板  静电驱动  微镜阵列  高占空比   传感技术国家联合重点实验室十六年工作启示 会议论文 第八届敏感元件与传感器学术会议, 2003 王跃林; 王渭源; 李昕欣; 焦继伟; 陆德仁; 熊斌; 罗乐; 吴亚明; 李铁; 杨建义 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2012/01/18 微机电系统 微光机电系统 传感器