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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 专题：北京大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 A high sensitivity and high linearity pressure sensor based on a peninsula-structured diaphragm for low-pressure ranges 期刊论文 sensors and actuators a physical, 2014 Huang, Xian; Zhang, Dacheng 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2015/11/10 MEMS pressure sensor  Peninsula-structured diaphragm  Sensitivity and linearity  FEM  Sensor fabrication  SIMULATION  SILICON  BOSS   Switchable wetting and flexible SiC thin film with nanostructures for microfluidic surface-enhanced Raman scattering sensors 期刊论文 sensors and actuators a physical, 2014 Zhang, Xiao-Sheng; Meng, Bo; Zhu, Fu-Yun; Tang, Wei; Zhang, Hai-Xia 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/10 Silicon carbide  Switchable wettability  Flexible materials  SERS  Deep reactive ion etching  DUAL-SCALE STRUCTURES  SILICON-CARBIDE  STRUCTURES FABRICATION  PRESSURE SENSOR  SUPERHYDROPHOBICITY  MEMS  SUPERHYDROPHILICITY  TECHNOLOGY   Silicon Carbide Capacitive Pressure Sensors with arrayed sensing membranes 其他 2013-01-01 Meng, Bo; Tang, Wei; Peng, Xuhua; Zhang, Haixia 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/13 silicon carbide  pressure sensor  arrayed sensing membranes  PDMS packaging  HARSH ENVIRONMENTS  MEMS   Monolithic Integration of a Micromachined Flow Sensor Based on Post-CMOS 其他 2012-01-01 Li, Dan; Yang, Fang; Zhao, Danqi; Li, Ting; Zhang, Dacheng 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2015/11/10 MEMS  flow sensor  Post-CMOS  Inter-CMOS  PRESSURE SENSOR   Wafer level packaging for gyroscope by Au/Si eutectic bonding 其他 2002-01-01 Ruan, Y; Zhang, DC; Yang, ZC; Wang, M; Yu, XM 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/13 wafer level packaging  anodic bonding  Au/Si eutectic bonding  MEMS gyroscope  MEMS pressure sensor  TEMPERATURE  GOLD