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浏览/检索结果: 共7条，第1-7条 帮助 限定条件 专题：厦门大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 微型电容式压力传感器硅基薄膜的设计与制备 期刊论文 2013 陶也; 曾毅波; 刘畅; 林杰; 郭航 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2016/05/17 微机电系统  电容式压力传感器  硅薄膜  超声腐蚀  化学机械抛光  MEMS  capacitive pressure sensor  silicon membrane  utrlasonic corrosion  chemical mechanical polishing(CMP)   MEMS汽车轮胎压力传感器的芯片设计与制作 学位论文 2011, 2011 郑小杉 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2016/02/14 MEMS  压力传感器  压阻效应  镶嵌电路  MEMS  pressure sensor  piezoresistance effect  interconnecting   基于汽车电子的MEMS压力传感器 学位论文 2011, 2010 陈文山 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2016/02/14 压力传感器  压阻效应  MEMS  pressure sensor  piezoresistive effect  MEMS   采用环形岛棱结构的电容式压力传感器(英文) 期刊论文 2009 邹黎明; 郭航 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2016/05/17 微机电系统  电容式压力传感器  线性度  有限元法  MEMS  capacitive pressure sensor  linearity  Finite Element Method(FEM)   MEMS器件的可靠性研究和测试系统的开发 学位论文 2009, 2009 詹林献 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2016/02/14 MEMS器件  RF MEMS开关  MEMS压力传感器  MEMS device  RF MEMS switch  MEMS pressure sensor   基于义齿压力检测的MEMS电容式压力传感器的研制 学位论文 2007, 2007 胡洪平 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2016/02/14 义齿  MEMS  压力传感器  denture  MEMS  pressure sensor   基于模型识别的高温微型压力传感器 期刊论文 2003 张丹; 冯勇建; 郑志霞 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2011/04/26 模型识别  高温  压力传感器  MEMS工艺  Model Identification  High Temperature  Pressure Sensor  MEMS