| 题名 | 基于义齿压力检测的MEMS电容式压力传感器的研制; Development of MEMS Capacitance Sensor Based on Pressure Artificial Denture |
| 作者 | 胡洪平 |
| 答辩日期 | 2007 ; 2007 |
| 导师 | 冯勇建 |
| 关键词 | 义齿 MEMS 压力传感器 denture MEMS pressure sensor |
| 英文摘要 | 在口腔临床医疗中，天然牙缺失后的患者，采用可摘义齿修复后，义齿对口腔下方组织的作用力直接影响到患者的健康，因此，口腔医学的研究人员都希望能够准确了解义齿对口腔下方组织的作用力情况。目前，据现有的文献检索，国内较少这方面的相关研究报道，国外的研究已取得了一定的成果，但由于传感器的限制，还是比较难准确的测量到义齿对口腔下方组织的作用力。本文介绍了一种以MEMS技术为基础的基于义齿压力检测的MEMS电容式压力传感器的研制，它是以电容式压力传感器的原理为基础，采用MEMS技术中的光刻、氧化、掩膜，键合等工艺，针对临床医疗中义齿压力检测而设计并制作的新型MEMS压力传感器。就此本文主要开展了以下研究工作...; Using the removable dentures to repair the bad natural teeth, the health of the patient is impacted by the force of oral below in the dental clinic. Therefore, the oral medicine researchers hope to accurately understand the oral beneath the force of dentures. At present, according to the document retrieval, there are only few the relevant research reports in china mainland while the foreign resear...; 学位：工学硕士; 院系专业：物理与机电工程学院机电工程系_机械制造及其自动化; 学号：200429011 |
| 语种 | zh_CN |
| 出处 | http://210.34.4.13:8080/lunwen/detail.asp?serial=13989 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/54485]  |
| 专题 | 物理技术－学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 胡洪平. 基于义齿压力检测的MEMS电容式压力传感器的研制, Development of MEMS Capacitance Sensor Based on Pressure Artificial Denture[D]. 2007, 2007. |
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