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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 专题：清华大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 硅基铁电微声学器件中薄膜残余应力的研究 期刊论文 2010, 2010 杨轶; 张宁欣; 任天令; 刘理天; Yang Yi; Zhang Ningxin; Ren Tianling; Liu Litian 收藏  |  浏览/下载：4/0 微声学器件封装特性研究 会议论文 第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集, 第十届全国敏感元件与传感器学术会议, 中国北京, CNKI, 全国敏感元件与传感器学术团体联合组织委员会 杨轶; 任天令; 蔡坚; 王水第; 刘理天; YANG Yi; REN Tian-ling; CAI Jian; WANG Shui-di; LIU Li-tian 收藏  |  浏览/下载：3/0 硅基铁电微声学器件中薄膜残余应力的研究 会议论文 中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（二）, 中国微米、纳米技术第七届学术会年会, 中国大连, CNKI, 中国机械工程学会 杨轶; 张宁欣; 任天令; 刘理天; Yang Yi; Zhang Ningxin; Ren Tianling; Liu Litian 收藏  |  浏览/下载：2/0 微声学器件封装特性研究 期刊论文 2010, 2010 杨轶; 任天令; 蔡坚; 王水第; 刘理天; YANG Yi; REN Tian-ling; CAI Jian; WANG Shui-di; LIU Li-tian 收藏  |  浏览/下载：3/0