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浏览/检索结果: 共8条，第1-8条 帮助 限定条件 专题：力学研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 纳米压痕和划痕法测定氧化硅薄膜材料的力学特性 期刊论文 微纳电子技术, 2003, 期号: 7-8, 页码: 245-248 作者:  郇勇;  张泰华 收藏  |  浏览/下载：1057/14  |  提交时间：2010/05/03 纳米压痕  纳米划痕  力学特性  氧化硅  热氧化  LPCVD  PECVD   亚微米氮化钛膜的纳米压痕和划痕测定 期刊论文 力学学报, 2003, 卷号: 35, 期号: 4, 页码: 498-502 作者:  张泰华;  郇勇;  王秀兰 收藏  |  浏览/下载：1378/1  |  提交时间：2010/05/03 纳米压痕  纳米划痕  氮化钛  微力学性能  磨擦性能   真空磁过滤电弧离子镀法制备DLC膜的机械性能 期刊论文 实验力学, 2003, 卷号: 18, 期号: 1, 页码: 1-5 作者:  张泰华;  郇勇;  王秀兰 收藏  |  浏览/下载：1780/247  |  提交时间：2007/06/15 真空磁过滤电弧离子镀  DLC膜  纳米压痕  纳米划痕  固体润滑   氮化钛沉积膜的摩擦性能研究 期刊论文 摩擦学学报, 2003, 卷号: 23, 期号: 5, 页码: 367-370 作者:  张泰华;  郇勇;  杨业敏 收藏  |  浏览/下载：1052/165  |  提交时间：2007/06/15 氮化钛薄膜  显微硬度  纳米压痕  纳米划痕  摩擦性能   纳米硬度技术在表面工程力学性能检测中的应用 期刊论文 中国机械工程, 2002, 卷号: 13, 期号: 24, 页码: 2148-2151 作者:  张泰华;  杨业敏 收藏  |  浏览/下载：1457/25  |  提交时间：2010/05/03 纳米压痕硬度  纳米划痕硬度  力学性能  表面工程   MEMS材料力学性能的测试技术 期刊论文 力学进展, 2002, 卷号: 32, 期号: 4, 页码: 545-562 作者:  张泰华;  杨业敏;  赵亚溥;  白以龙 收藏  |  浏览/下载：2302/64  |  提交时间：2010/05/03 微电子机械系统  力学性能  纳米压痕／划痕  弯曲  拉伸  扭转   纳米硬度技术的发展和应用 期刊论文 力学进展, 2002, 卷号: 32, 期号: 3, 页码: 349-364 作者:  张泰华;  杨业敏 收藏  |  浏览/下载：1031/7  |  提交时间：2010/05/03 纳米压痕  纳米划痕  微力学性能  硬度  模量  断裂韧性  蠕变应力指数   纳米硬度计及其在微机电系统中的应用 期刊论文 现代科学仪器, 2002, 期号: 1, 页码: 32-37 作者:  张泰华;  杨业敏 收藏  |  浏览/下载：1135/47  |  提交时间：2010/05/03 微机电系统  纳米压痕  纳米划痕