真空磁过滤电弧离子镀法制备DLC膜的机械性能

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	真空磁过滤电弧离子镀法制备DLC膜的机械性能
	张泰华; 郇勇; 王秀兰
刊名	实验力学
	2003
卷号	18 期号:1 页码:1-5
关键词	真空磁过滤电弧离子镀 DLC膜纳米压痕纳米划痕固体润滑
ISSN号	1001-4888
其他题名	Mechanical Properties of DLC Films Deposited by Vacuum Magnetic-filtering Arc Plasma
中文摘要	采用真空磁过滤电弧离子镀法分别在9Cr18和40CrNiMo钢上沉积厚约为0.2μm的类金刚石（DLC）膜。为了检测成膜质量，分别使用纳米压痕和纳米划痕技术表征钢基材和DLC/基材的机械性能，对这种亚微米厚的膜，纳米压痕技术和纳米划痕技术能提供丰富的近表面的弹塑性变形，断裂和摩擦等的信息。同DLC/40CrNiMo相比。DLC/9Cr18的硬度高和固体润滑效果显著，9Cr18是较为理想的基体材料。
学科主题	力学
收录类别	CSCD
语种	中文
CSCD记录号	CSCD:1353589
公开日期	2007-06-15 ; 2007-12-05 ; 2009-06-23
内容类型	期刊论文
源URL	[http://dspace.imech.ac.cn/handle/311007/15533]
专题	力学研究所_力学所知识产出(1956-2008)
推荐引用方式 GB/T 7714	张泰华,郇勇,王秀兰. 真空磁过滤电弧离子镀法制备DLC膜的机械性能[J]. 实验力学,2003,18(1):1-5.
APA	张泰华,郇勇,&王秀兰.(2003).真空磁过滤电弧离子镀法制备DLC膜的机械性能.实验力学,18(1),1-5.
MLA	张泰华,et al."真空磁过滤电弧离子镀法制备DLC膜的机械性能".实验力学 18.1(2003):1-5.