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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 内容类型：期刊论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Application and Optimization of Stiffness Abruption Structures for Pressure Sensors with High Sensitivity and Anti-Overload Ability 期刊论文 SENSORS, 2017, 卷号: 17 作者:  Xu, Tingzhong;  Lu, Dejiang;  Zhao, Libo;  Jiang, Zhuangde;  Wang, Hongyan 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/11/26 stress concentration region  high anti-overload ability  bending stiffness distribution  high sensitivity  peninsula-island structured diaphragm   A high sensitivity and high linearity pressure sensor based on a peninsula-structured diaphragm for low-pressure ranges 期刊论文 sensors and actuators a physical, 2014 Huang, Xian; Zhang, Dacheng 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2015/11/10 MEMS pressure sensor  Peninsula-structured diaphragm  Sensitivity and linearity  FEM  Sensor fabrication  SIMULATION  SILICON  BOSS