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浏览/检索结果: 共7条，第1-7条 帮助 限定条件 内容类型：学位论文    专题：大连理工大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 横向磁场中氩气射频容性耦合等离子体的二维PIC-MCC模拟研究 学位论文 : 大连理工大学, 2014 作者:  范雨 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/11 低温等离子体  加热机制  磁场效应  PIC-MCC模拟  射频容性耦合  数值模拟  放电过程   直流与射频混合放电下容性耦合等离子体的PIC/MCC模拟 学位论文 : 大连理工大学, 2014 作者:  张权治 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/12/11 低温等离子体  半导体制造  PIC/MCC模拟  物理机制   等离子体浸没离子注入介质靶鞘层特性的粒子模拟研究 学位论文 : 大连理工大学, 2012 作者:  李运虎 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/18 等离子体浸没离子注入  充电效应  PIC-MCC模型  混合PIC  圆柱形介质圆管   偏滤器等离子体鞘层及氢同位素在器壁材料中的滞留模拟研究 学位论文 : 大连理工大学, 2012 作者:  桑超峰 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/18 偏滤器  等离子体鞘层  PIC-MCC  器壁侵蚀  氢同位素的滞留   低气压容性耦合氢气等离子体的PIC-MCC模拟研究 学位论文 : 大连理工大学, 2011 作者:  李现涛 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/18 氢气等离子体  PIC-MCC模拟  双电源容性耦合放电   射频容性耦合等离子体物理特性的PIC/MCC模拟研究 学位论文 : 大连理工大学, 2008 作者:  肖允庚 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/27 射频等离子体  PIC/MCC方法  容性耦合放电  等离子体刻蚀   PIC/MCC模拟直流平面磁控溅射 学位论文 : 大连理工大学, 2007 作者:  赵华玉 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/27 磁控溅射  沉积速率  磁控靶设计  镀膜生产  MCC模型  PIC模型