| 题名 | 横向磁场中氩气射频容性耦合等离子体的二维PIC-MCC模拟研究 |
| 作者 | 范雨 |
| 答辩日期 | 2014 |
| 授予单位 | 大连理工大学 |
| 导师 | 孙继忠 |
| 关键词 | 低温等离子体 加热机制 磁场效应 PIC-MCC模拟 射频容性耦合 数值模拟 放电过程 |
| 学位名称 | 硕士 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 出处 | 大连理工大学 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4524602 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 范雨. 横向磁场中氩气射频容性耦合等离子体的二维PIC-MCC模拟研究[D]. 大连理工大学. 2014. |
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