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科研机构
大连理工大学 [2]
内容类型
会议论文 [2]
发表日期
2005 [1]
2004 [1]
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内容类型:会议论文
专题:大连理工大学
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微桥热传感器测微小气压的研究
会议论文
第十一届全国实验力学学术会议--暨庆祝中国力学学会实验力学专业委员会成立26周年论文集中国力学学会, 大连, 2005-07-26
作者:
张凤田
;
唐祯安
;
金仁成
;
余隽
;
江胜峰
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提交时间:2020/01/02
微桥 热传感器 气压传感器 表面微机械加工
基于MEMS的硅基PZT薄膜微力传感芯片设计及制作
会议论文
中国科协第2届优秀博士生学术年会, 苏州, 2004-12-01
作者:
佟建华
;
刘梦伟
;
崔岩
;
王兢
;
崔天宏
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提交时间:2020/01/02
MEMS
PZT薄膜
微力传感器
微机械加工
有限元模拟
钙钛矿结构
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