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一种基于旋转CGH的非圆柱面干涉拼接测量系统及方法
专利
公开日期: 2018
作者:
彭军政[1]
;
钟金钢[1]
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提交时间:2019/12/17
非圆柱面
柱面波
转换器
调整装置
拼接测量系统
平面干涉仪
精密转台
非圆柱
光学元件
光轴重合
面形误差
平面干涉
圆柱轴线
中心轴线
轴线重合
准确测量
最佳拟合
干涉
光轴
像差
衍射
精密
转动
测量
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