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一种基于旋转CGH的非圆柱面干涉拼接测量系统及方法
彭军政[1]; 钟金钢[1]
关键词非圆柱面 柱面波 转换器 调整装置 拼接测量系统 平面干涉仪 精密转台 非圆柱 光学元件 光轴重合 面形误差 平面干涉 圆柱轴线 中心轴线 轴线重合 准确测量 最佳拟合 干涉 光轴 像差 衍射 精密 转动 测量
公开日期2018
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内容类型专利
URI标识http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4783240
专题暨南大学
作者单位[1]暨南大学
推荐引用方式
GB/T 7714
彭军政[1],钟金钢[1]. 一种基于旋转CGH的非圆柱面干涉拼接测量系统及方法.
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