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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2014    专题：大连理工大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 横向磁场中氩气射频容性耦合等离子体的二维PIC-MCC模拟研究 学位论文 : 大连理工大学, 2014 作者:  范雨 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/11 低温等离子体  加热机制  磁场效应  PIC-MCC模拟  射频容性耦合  数值模拟  放电过程   直流与射频混合放电下容性耦合等离子体的PIC/MCC模拟 学位论文 : 大连理工大学, 2014 作者:  张权治 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/12/11 低温等离子体  半导体制造  PIC/MCC模拟  物理机制