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科研机构
厦门大学 [1]
内容类型
学位论文 [1]
发表日期
2008 [1]
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RF MEMS开关电介质充电特性的研究和硅基MEMS红外光源的制备
学位论文
2008, 2008
伞海生
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提交时间:2016/02/14
射频微电子机械开关
开关可靠性
金属-电介质-半导体电容
致动电压波形
电荷积累
红外光源
SOI 晶片
载流子吸收
光源阵列
战斗认证
RF MEMS switch
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