| 题名 | RF MEMS开关电介质充电特性的研究和硅基MEMS红外光源的制备; Investigation of charging characteristics in the dielectric for RF MEMS switches and Preparation of silicon-based MEMS infrared emitter |
| 作者 | 伞海生 |
| 答辩日期 | 2008 ; 2008 |
| 导师 | 陈旭远 |
| 关键词 | 射频微电子机械开关 开关可靠性 金属－电介质－半导体电容 致动电压波形 电荷积累 红外光源 SOI 晶片 载流子吸收 光源阵列 战斗认证 RF MEMS switch MIS capacitor Actuation voltage waveform Charge accumulation Infrared emitter SOI wafer Carrier absorption emitter arrays Combat Identification |
| 英文摘要 | 第一部分：射频微电子机械（RFMEMS）开关电介质充放电特性调查 RFMEMS电容开关在商业、航空和军事领域有巨大的应用前景.。然而，它们的商业化一直受阻于可靠性问题：电介质充电效应引起开关致动部分发生不可逆的粘连现象。在本论文中，我们使用金属－电介质－半导体（MIS）结构去调查开关电介质层电荷积累的问题。通过对MIS结构施加电压负载，然后测量电容－电压（C-V）曲线的变化，我们能够研究电介质的充放电特性。对氮化硅(SiNx)介质进行直流电压负载并测量了C-V实验数据，我们得到SiNx介质的充电特性如下： ·硅悬健具有两性性质，它们可以被正的或负的充电； ·来自开关金属桥的电荷注入是引起...; First part: Investigation of charging characteristics in the dielectric for RF MEMS switches RF MEMS capacitive switches hold great promise in commercial aerospace and military applications. However, their commercialization is hindered by reliability concerns: charging effect in the dielectric layer can cause irreversible stiction of the actuating part of the switch. In this thesis, a Metal-Insul...; 学位：博士后; 院系专业：物理与机电工程学院物理学系_半导体物理与器件; 学号：DH17000175 |
| 语种 | zh_CN |
| 出处 | http://210.34.4.13:8080/lunwen/detail.asp?serial=20671 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/54650]  |
| 专题 | 物理技术－学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 伞海生. RF MEMS开关电介质充电特性的研究和硅基MEMS红外光源的制备, Investigation of charging characteristics in the dielectric for RF MEMS switches and Preparation of silicon-based MEMS infrared emitter[D]. 2008, 2008. |
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