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硅基光子集成的器件及制作方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2003-11-05, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11, 2010-10-15
黄昌俊; 邓晓清; 成步文; 王红杰; 杨沁清; 余金中; 胡雄伟; 王启明
收藏  |  浏览/下载:29/0  |  提交时间:2009/06/11
镜面起伏对1.55 μm Si基MEMS光滤波器的影响 期刊论文
光子学报, 2003, 卷号: 32, 期号: 6, 页码: 661-664
作者:  左玉华;  成步文
收藏  |  浏览/下载:13/0  |  提交时间:2010/11/23
1.55μm Si基光电探测器的研究进展 期刊论文
半导体光电, 2003, 卷号: 24, 期号: 2, 页码: 79-83
作者:  成步文
收藏  |  浏览/下载:6/0  |  提交时间:2010/11/23
热光Si共振腔型可调谐滤波器 期刊论文
半导体学报, 2003, 卷号: 24, 期号: 12, 页码: 1312-1317
作者:  左玉华;  成步文
收藏  |  浏览/下载:14/0  |  提交时间:2010/11/23
Si_(1-x-y)Ge_xC_y三元系材料的应变补偿特性 期刊论文
半导体学报, 2001, 卷号: 22, 期号: 1, 页码: 53
作者:  成步文
收藏  |  浏览/下载:5/0  |  提交时间:2010/11/23
弛豫SiGe衬底上SiGe/Si Ⅱ型量子阱 期刊论文
半导体学报, 2001, 卷号: 22, 期号: 7, 页码: 875
作者:  成步文
收藏  |  浏览/下载:20/0  |  提交时间:2010/11/23
用固相外延方法制备Si_(1-x-y)Ge_xC_y三元材料 期刊论文
半导体学报, 2000, 卷号: 21, 期号: 9, 页码: 862
作者:  成步文
收藏  |  浏览/下载:6/0  |  提交时间:2010/11/23
UHV/CVD外延生长SiGe/Si表面反应动力学 期刊论文
半导体学报, 2000, 卷号: 21, 期号: 6, 页码: 564
作者:  成步文
收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2010/11/23
Raman谱研究不同缓冲层结构对Si_(1-x)Ge_x应力弛豫的影响 期刊论文
半导体学报, 2000, 卷号: 21, 期号: 8, 页码: 760
作者:  成步文
收藏  |  浏览/下载:12/0  |  提交时间:2010/11/23
Annealing Behavior of Si_(1-x)Ge_x/Si Heterostructures 期刊论文
半导体学报, 2000, 卷号: 21, 期号: 10, 页码: 962
作者:  Cheng BW(成步文)
收藏  |  浏览/下载:9/0  |  提交时间:2010/11/23


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