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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：上海大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 刻蚀工艺对四面体非晶碳膜生长及其性能的影响 期刊论文 表面技术, 2017, 卷号: 46, 页码: 143-149 作者:  郭婷[1];  左潇[2];  郭鹏[3];  李晓伟[4];  吴晓春[5] 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2019/04/24 四面体非晶碳膜  辉光刻蚀  电弧刻蚀  刻蚀时间  结构